引言
微透鏡及微透鏡陣列是消費(fèi)電子光電傳感、激光聚光、微型成像模組的核心光學(xué)元件，其有效焦距、數(shù)值孔徑NA以及聚光效率直接決定光電系統(tǒng)耦合精度、光能利用率與成像顯色效果。微透鏡尺寸微小、面型結(jié)構(gòu)精密，加工過程中的面型輪廓偏差、曲率細(xì)微誤差、表面微觀形貌缺陷，都會(huì)直接導(dǎo)致焦距偏移、NA不達(dá)標(biāo)、聚光損耗升高等品質(zhì)問題。傳統(tǒng)光學(xué)投影檢測、單點(diǎn)光學(xué)對焦測量方式，檢測精度有限，無法同步關(guān)聯(lián)結(jié)構(gòu)形貌與光學(xué)性能參數(shù)，難以實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)中的精準(zhǔn)參數(shù)管控，亟需高精度非接觸式精密檢測技術(shù)筑牢產(chǎn)品質(zhì)控防線。
白光干涉精密檢測核心技術(shù)原理
白光干涉精密檢測技術(shù)基于寬譜白光短相干干涉特性，搭配垂直掃描顯微干涉架構(gòu)與高精度相位解析算法，無需接觸微透鏡表面即可完成全域三維形貌精準(zhǔn)重構(gòu)。相較于常規(guī)單色光檢測，白光干涉無相位纏繞、測距漂移小，可精準(zhǔn)捕捉微透鏡表面微觀面型起伏與輪廓弧度細(xì)節(jié)。檢測過程中，通過壓電陶瓷納米級垂直掃描機(jī)構(gòu)精準(zhǔn)調(diào)控光程差，高分辨率圖像采集設(shè)備實(shí)時(shí)采集全域干涉條紋，系統(tǒng)依托算法解算相位數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)擬合微透鏡實(shí)際曲率面型，同步換算核心光學(xué)參數(shù)。通過實(shí)測三維形貌數(shù)據(jù)迭代計(jì)算微透鏡有效焦距，結(jié)合入射光瞳與出光耦合關(guān)系精準(zhǔn)測算NA數(shù)值，再依據(jù)面型精度損耗與光能匯聚擬合模型，量化評估微透鏡實(shí)際聚光效率，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)形貌與光學(xué)性能參數(shù)一體化同步檢測。
檢測方案應(yīng)用優(yōu)勢與實(shí)操管控價(jià)值
該白光干涉精密檢測方案全程非接觸式作業(yè)，不會(huì)損傷微透鏡光學(xué)鍍膜與精密曲面，檢測分辨率可達(dá)納米級別，參數(shù)測量重復(fù)性高、數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強(qiáng)。既能滿足科研研發(fā)階段微透鏡光學(xué)參數(shù)精準(zhǔn)標(biāo)定需求，也適配工業(yè)化批量生產(chǎn)快速抽檢與全品類質(zhì)控場景，可快速篩查焦距偏差、NA超標(biāo)、聚光效率不達(dá)標(biāo)等不良品，精準(zhǔn)溯源加工制程面型缺陷問題，針對性優(yōu)化微透鏡加工打磨與模壓工藝，全方位穩(wěn)定微透鏡光學(xué)服役性能。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案
大視野3D白光干涉儀——光學(xué)鏡片納米級測量解決方案
大視野3D白光干涉儀，聚焦光學(xué)鏡片精密測量，打造納米級測量全域解決方案，突破傳統(tǒng)測量局限，定義光學(xué)鏡片檢測新范式，以高效、精準(zhǔn)的測量能力，適配光學(xué)鏡片全流程檢測需求。
設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級全場景測量，重新詮釋精密測量的高效與精準(zhǔn)，助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控，保障鏡片性能達(dá)標(biāo)。
核心優(yōu)勢：大視野+高精度，突破行業(yè)局限
打破行業(yè)常規(guī)壁壘，解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野與高精度測量的痛點(diǎn)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪，一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度，完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測量場景。
光學(xué)鏡片實(shí)測應(yīng)用圖示
（圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標(biāo)：含平面度誤差、PV值、RMS值，精準(zhǔn)把控鏡片平面精度，保障鏡片光學(xué)性能）
（圖示為表面粗糙度：精度達(dá)6pm=0.006nm，精準(zhǔn)表征鏡片表面光滑度，適配高精度光學(xué)鏡片檢測需求）
（圖示為實(shí)測涂層厚度：75.2nm，精準(zhǔn)測量光學(xué)鏡片涂層厚度，助力涂層工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控）
（圖示為 涂層表面質(zhì)量3D形貌圖，清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂層缺陷）
特色測量功能：上下平面平行度測量
設(shè)備采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非透明產(chǎn)品的厚度和平面平行度測量，適配多層玻璃等光學(xué)部件的測量需求，進(jìn)一步拓展光學(xué)測量場景。
（圖示為新啟航多層玻璃厚度測量，精準(zhǔn)獲取多層玻璃厚度數(shù)據(jù)，保障光學(xué)組件裝配精度）
新啟航半導(dǎo)體——專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量解決方案，深耕光學(xué)鏡片檢測領(lǐng)域，助力光學(xué)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！