鈣鈦礦電池死區(qū)寬度測量,白光干涉助力GFF提升
發(fā)布時間:
2026-05-09
作者:
新啟航半導(dǎo)體有限公司

1 鈣鈦礦電池死區(qū)寬度成因及工藝影響

鈣鈦礦電池組件規(guī)模化生產(chǎn)中,激光刻蝕形成的邊緣無效區(qū)域即為電池死區(qū),主要位于P1、P2、P3刻蝕溝槽邊緣及電池片串間銜接位置。死區(qū)無光電發(fā)電能力,僅承擔(dān)絕緣隔離與電路導(dǎo)通作用,其寬度尺寸直接決定組件有效受光面積大小。死區(qū)寬度越寬,電池有效發(fā)電區(qū)域占比越小,幾何填充因子GFF數(shù)值隨之降低,直接制約組件光電轉(zhuǎn)換效率與量產(chǎn)功率增益。刻蝕工藝偏差、邊緣形貌毛刺、薄膜層殘留及溝槽側(cè)壁輪廓不規(guī)則,均會造成死區(qū)寬度一致性差、實際尺寸偏離設(shè)計標(biāo)準(zhǔn),精準(zhǔn)把控死區(qū)寬度并嚴(yán)控全域均勻性,是提升GFF、拔高鈣鈦礦電池量產(chǎn)發(fā)電性能的核心關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

2 傳統(tǒng)死區(qū)寬度測量方式現(xiàn)存不足

當(dāng)前鈣鈦礦行業(yè)常規(guī)檢測手段難以滿足死區(qū)寬度高精度精細(xì)化管控需求。普通光學(xué)顯微鏡僅能完成二維平面目視觀測,只能粗略估測死區(qū)宏觀寬度,無法識別邊緣微觀毛刺、薄膜臺階起伏帶來的實際有效死區(qū)偏差,測量精度低、數(shù)據(jù)重復(fù)性差。接觸式輪廓儀易劃傷鈣鈦礦功能性薄膜,破壞電池樣品完整性,且僅能單點采集輪廓數(shù)據(jù),無法匹配全域死區(qū)邊緣形貌同步檢測需求。傳統(tǒng)測量模式無法同步關(guān)聯(lián)寬度尺寸與表面微觀形貌,難以為工藝微調(diào)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù),嚴(yán)重制約GFF優(yōu)化提升效率。

3 白光干涉高精度測量賦能GFF優(yōu)化升級

白光干涉儀依托非接觸短相干干涉測量技術(shù),專為鈣鈦礦電池死區(qū)寬度檢測打造高精度一體化測量方案。設(shè)備無需接觸樣品,全程無損保護(hù)電池薄膜結(jié)構(gòu),單次掃描即可精準(zhǔn)標(biāo)定死區(qū)實際邊緣邊界,快速測量全域死區(qū)寬度數(shù)值,同步采集邊緣三維形貌、臺階高度及側(cè)壁粗糙度等關(guān)聯(lián)參數(shù)。通過3D形貌可視化成像與量化數(shù)據(jù)分析,可精準(zhǔn)識別刻蝕殘留、邊緣畸變等造成的死區(qū)超標(biāo)問題,為激光刻蝕功率、掃描速度等工藝參數(shù)調(diào)校提供直觀數(shù)據(jù)依據(jù),持續(xù)壓縮無效死區(qū)寬度、提升電池有效受光面積,穩(wěn)步優(yōu)化幾何填充因子GFF,助力鈣鈦礦電池組件量產(chǎn)性能提質(zhì)增效。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案。


大視野3D白光干涉儀——涂層表征納米級測量解決方案





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核心優(yōu)勢:大視野+高精度,賦能涂層精準(zhǔn)表征

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涂層表征實測應(yīng)用圖示

鈣鈦礦電池死區(qū)寬度測量,白光干涉助力GFF提升

(圖示為實測涂層厚度,精準(zhǔn)測得75.2nm,為涂層厚度一致性管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐)


鈣鈦礦電池死區(qū)寬度測量,白光干涉助力GFF提升

(圖示為涂層厚度專項測量,清晰呈現(xiàn)涂層厚度分布,助力涂層工藝優(yōu)化)

鈣鈦礦電池死區(qū)寬度測量,白光干涉助力GFF提升

(圖示為涂層劃痕分析,測得劃痕厚度1.96μm,精準(zhǔn)捕捉涂層劃痕細(xì)節(jié),為涂層缺陷檢測與耐用性評估提供依據(jù))

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