1 鈣鈦礦電池劃線輪廓質量對漏電與串聯電阻的影響

鈣鈦礦電池模組制備核心工序中，激光劃線刻蝕是實現電池單元精準分割、層間電路串聯互聯的關鍵工藝，劃線溝槽的輪廓規整度、刻蝕深度一致性、側壁平整度及邊緣完整性，直接關乎電池電學性能核心指標。若劃線存在刻蝕殘留、溝槽側壁毛刺過度、刻蝕深淺不均、邊緣薄膜破損等形貌缺陷，極易造成電池層間微短路，引發器件漏電電流飆升；同時，不規則的劃線接觸界面會增大電路傳輸接觸損耗，直接導致電池串聯電阻大幅升高，不僅削弱電池光電轉換效率，還會加速組件長期工作功率衰減，降低產品服役壽命與量產良率。因此，精準管控激光劃線微觀輪廓形貌，是從工藝源頭抑制漏電、壓降串聯電阻的核心管控要點。

2 傳統劃線輪廓檢測工藝的應用弊端

目前鈣鈦礦電池量產常用的常規檢測方式，難以滿足劃線輪廓高精度電學適配管控需求。普通光學顯微鏡僅能實現劃線表面二維宏觀外觀觀測，無法量化溝槽深度、側壁微觀粗糙度及刻蝕臺階偏差，難以識別隱性形貌缺陷；接觸式輪廓儀依靠探針接觸采樣，易劃傷鈣鈦礦光敏薄膜與導電層結構，造成樣品不可逆損壞，且僅能單點采集二維數據，無法全面表征劃線全域三維輪廓特征。傳統檢測模式數據精度低、檢測效率慢，無法精準關聯輪廓形貌與漏電、串聯電阻電學參數，難以支撐工藝實時調校優化。

3 白光干涉儀劃線輪廓精準測量專項解決方案

白光干涉儀基于非接觸式短相干干涉測量原理，適配鈣鈦礦電池激光劃線全尺寸、全形貌高精度無損檢測需求。設備單次掃描即可快速采集劃線溝槽刻蝕深度、側壁粗糙度、邊緣輪廓平整度及刻蝕均勻度等全維度參數，同步生成高清三維形貌云圖，精準識別微刻蝕殘留、側壁畸變等隱性缺陷。依托量化檢測數據，可精準指導激光劃線功率、掃描軌跡、刻蝕速度等工藝參數優化，規整劃線微觀輪廓，徹底消除層間短路誘發隱患，有效抑制電池漏電問題，優化電路接觸導通性能，穩步降低串聯電阻，全面提升鈣鈦礦電池光電轉化效率與量產穩定性。新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案。

大視野3D白光干涉儀——涂層表征納米級測量解決方案

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涂層表征實測應用圖示

（圖示為實測涂層厚度，精準測得75.2nm，為涂層厚度一致性管控提供可靠數據支撐）

（圖示為涂層厚度專項測量，清晰呈現涂層厚度分布，助力涂層工藝優化）

（圖示為涂層劃痕分析，測得劃痕厚度1.96μm，精準捕捉涂層劃痕細節，為涂層缺陷檢測與耐用性評估提供依據）

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